微納加工中心主要依托於物理與電子科學學院🤵🏻‍♂️👨🏽‍🦰，集中微/納米加工、製造和表征測試手段，為物理、電子、化學🤙🏿、生命等學科發展提供微納器件製備及表征方面的科研服務支撐🫄🏻。中心定位於高校及研究機構對微納電子器件製備和表征的科研級需求，瞄準國內最先進研究技術型器件微加工及表征技術，目標是建設滿足薄膜生長🍔、光刻、曝光、刻蝕等多樣性需求的恒溫恒濕微納加工凈化室加工平臺🪙。

微納加工中心位於閔行校區物理樓一樓潔凈室，包含百級和千級兩個潔凈區域。目前中心已經具備低至50nm圖形加工和多種類高質量薄膜製備能力，同時在微納材料及器件的電學、光學和磁學方面擁有全面表征服務能力。中心具有強大的技術支持專家團隊𓀑🕝，可以根據用戶需求提供表征及分析服務😣。

微納加工中心將不斷完善平臺建設，為提升我校各研究單位在納米科技👊🏿、先進製造👴、能源、信息技術等研究領域的創新能力，為我校雙一流建設及在國家重大需要和前沿交叉研究領域的科研發展做出重要貢獻🥨。

微納加工中心為校內外師生及科研院所研究人員提供自主上機或送樣加工測試服務，預約測試請聯系中心高老師， argao@clpm.ecnu.edu.cn。中心每年將召開3-4次安全及設備上機培訓（3-4月🦵🏿、9-10月份），具體信息請關註万泰平台-培訓宣講通知/pxxj/list.htm🙆。

中心主要儀器展示：