電鏡中心——場發射聚焦離子束電子顯微鏡培訓

發布時間🌮:2024-09-24瀏覽量:42

為了進一步響應國家及學校對於大型科學儀器開放共享的若幹舉措🧑‍🦼‍➡️,更好地提高大型精密儀器的使用效益,更全面滿足校內廣大師生的需求,電鏡中心在前期培訓的經驗基礎上,針對掃描電鏡啟動新一期培訓。詳情如下:

聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)的系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器,液相金屬離子源,金屬材質為镓(Gallium, Ga)可以進行材料沉積和化學增強刻蝕,通過註入特殊的化學氣體🧘🏻‍♂️,離子束可以沉積一些材料形成亞微米的結構,氣體化學系統結合離子束可以形成化學刻蝕來進行選擇性切割🧔🏿‍♂️。高能聚焦離子束轟擊樣品時↙️,其動能會傳遞給樣品中的原子分子🙆🏿,產生濺射效應💅,從而達到不斷蝕刻,即切割樣品的效果🙍🏿‍♂️💸。其切割定位精度能達到納米級別,具有超高的切割精度。

可滿足多種製樣需求,例如👨‍⚕️:透射電鏡樣品製備、離子註入👨🏿‍🏭、離子束沉積薄膜、離子束蝕刻等。FIB-SEM雙束系統中🤰🏽,聚焦離子束和電子束優勢互補🕵🏼‍♂️。離子束成型襯度大,但存在損傷樣品和分辨率低的缺點,電子束激發的二次電子成像分辨率高、對樣品損傷小,但襯度較低🕞,兩者組合可獲得更清晰準確的樣品表面信息目前5nm的加工精度、無汙染和不損傷樣品在樣品加工方面存在這巨大優勢🧑‍🎤🧚🏽,是其他樣品製備設備無法達到的水平。

   一、培訓設備

FEI Helios G4 UX場發射聚焦離子束電子顯微鏡(FIB)

   二、培訓時間

另行通知

   三、培訓內容

FIB基礎理論、使用方法、使用規則等

   四培訓形式

集中培訓🦞👎🏽、上機操作🧕🏿、單獨考核

   五培訓收費

培訓免費,但每個學員培訓後兩個月內至少要完成20個小時的上機練習並通過考核後方可獲得獨立上機資格,為鼓勵廣大師生參加培訓,練習時間按照優惠價格收取基本機時費🧑‍🔧。

   六⚽️🖕🏿、考核

電鏡中心負責老師會組織專家對每個學生進行考核🤸‍♀️,考核分為理論匯報和實際上機操作兩個部分,考核合格的學員可以獲得獨立操作資格👨🏿‍🦲🤦🏼,考核不合格學員需繼續練習🧗🏼‍♂️,同下一期學員一同考核。

   七報名方式

每個參加培訓學員征求導師意見後報名🧛🏼‍♀️,自行打印安全責任書(見附件)一式三份❤️‍🔥,個人導師分別簽名後,提交至電鏡中心204辦公室⛹️‍♀️,報名截止日期2024101👰🏼‍♀️。為了保證培訓質量且兼顧需求,每個課題組限報名2人🍫,15人滿額🏌🏼‍♀️。培訓時間另行通知

培訓報名:發送郵件至51254700102@stu.ecnu.edu.cn🍖,郵件內備註姓名、院系、聯系方式,後續電鏡中心根據郵件信息與報名人員聯絡🤭。

万泰娱乐電鏡中心開放儀器安全責任書.pdf


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